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各類電子行業(yè)凈化車間潔凈度要求
2019-07-30 00:00
產(chǎn)品、工序 |
潔凈度等級 |
控制粒徑(μm) |
|
半導(dǎo)體材料 |
拉單晶 |
6-8 |
0.5 |
切、磨、拋 |
5-7 |
0.3-0.5 |
|
清洗 |
4-6 |
0.3-0.5 |
|
外延 |
4-6 |
0.3-0.5 |
|
芯片制造 |
氧化、擴散、清洗、 刻蝕、薄膜、離子注入、CMP |
2-5 |
0.1-0.5 |
光刻 |
1-5 |
0.1-0.3 |
|
檢測 |
3-6 |
0.2-0.5 |
|
設(shè)備區(qū) |
6-8 |
0.3-0.5 |
|
封裝 |
劃片、鍵合 |
5-7 |
0.3-0.5 |
封裝 |
6-8 |
0.3-0.5 |
|
TFT-LCD (液晶平板顯示器) |
陣列板(薄膜、光刻、刻蝕、剝離) |
2-5 |
0.2-0.3 |
成盒(涂復(fù)、摩擦、液晶注入、切割、磨邊) |
3-6 |
0.2-0.3 |
|
模塊 |
4-6 |
0.3-0.5 |
|
彩膜板 |
2-5 |
0.2-0.3 |
|
STN-LCD |
6-7(局部5級) |
0.3-0.5 |
|
HDD(硬盤驅(qū)動器) |
制造區(qū) |
3-4 |
0.1-0.3 |
其他區(qū) |
6-7 |
0.3-0.5 |
|
PDP(等離子顯示屏) |
核心區(qū) |
6-7 |
0.5 |
支持區(qū) |
7-8 |
0.5 |
|
鋰電池 |
干工藝 |
6-7 |
0.5 |
其他區(qū) |
7-8 |
0.5 |
|
彩色顯像管 |
涂屏、電子槍裝配、 熒光粉 |
6-7 |
0.5 |
錐石墨涂覆、蔭罩裝配 |
8 |
0.5 |
|
表面處理 |
5-7 |
0.5 |
|
電子儀器、微型計算機裝配 |
8 |
(0.5) |
|
高密磁帶制造 |
6-8(局部5級) |
(0.5) |
|
印制版的照相、制版、干膜 |
7-8 |
(0.5) |
|
光導(dǎo)纖維 |
預(yù)制棒 |
6-7 |
0.3-0.5 |
拉絲 |
5-7 |
0.3-0.5 |
|
光盤制造 |
6-8 |
0.3-0.5 |
|
磁頭生產(chǎn) |
核心區(qū) |
5 |
0.3 |
清洗區(qū) |
6 |
0.3 |
|
片式陶瓷電容、片式電阻等制造 |
絲印、流延 |
8 |
0.5 |
聲表面波器件制造 |
鍍膜、清洗、劃片、封帽 |
6 |
0.5 |
|
|
|
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