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半導(dǎo)體無塵車間設(shè)計裝修（施工）工程內(nèi)容及范圍
2022-07-26 10:36
半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計施工的范圍包括：
1、裝修方案（圍護、地面防水保溫處理）
2、暖通方案（空調(diào)設(shè)備、風(fēng)管、水管等）
3、特氣供應(yīng)方案（特氣柜含保險控制、房間氣體監(jiān)測、EP級管道及BA級管道、供氣管路尾氣處理），壓縮空氣方案，廢氣處理方案（儀器設(shè)備POU處理、房間排風(fēng)廢氣處理）
4、電氣方案（空調(diào)設(shè)備動力配電等）
5、弱電工程
6、集成控制智能平臺
7、純水方案（冷卻水、去離子水、超純水、水管等）
8、廢水處理等等
一、圍護結(jié)構(gòu)工程
隔墻及吊頂：
隔墻采用企口型機制玻鎂巖棉夾芯板0.426mm，玻鎂巖棉彩鋼板符合潔凈廠房二級消防要求，玻鎂巖棉彩鋼夾芯板具有1000℃的耐火性能，耐火等級達(dá)到A級。耐火極限為30~120分鐘。
地板系統(tǒng)：
車間內(nèi)采用防靜電型PVC地板，其中千級和百級車間采用防靜電型架高鋼板，其它為普通型PVC地板。
二、暖通工程
空調(diào)制冷負(fù)荷：統(tǒng)計計算，總冷負(fù)荷約500KW。
采用恒溫恒濕潔凈空調(diào)，夏季采用磁懸浮水冷機組，冬季采用廠區(qū)鍋爐熱水供熱。
風(fēng)管：風(fēng)管采用共板法蘭風(fēng)管。
水管：空調(diào)水管采用無縫鋼管。水泵采用星-三角降壓啟動。
三、特種氣體工程
工藝氣體種類多，純度高，并且易燃易爆有毒。安全問題突出，為保證系統(tǒng)的安全和穩(wěn)定可靠，建議采用進口成熟產(chǎn)品。
因為 MOCVD 生長使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物質(zhì)，并且要生長多組分、大面積、薄層和超薄層異質(zhì)材料，因此在MOCVD 系統(tǒng)的設(shè)計思想上，通常要考慮系統(tǒng)密封性要好，流量、溫度控制要精確，組分變換要迅速，系統(tǒng)要緊湊等。核心工作是氣體輸運系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)。
四、空壓氣體工程
螺桿式空壓機組主要主要有以下系統(tǒng)組成：空氣流程系統(tǒng)、潤滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、安全保護系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及電氣線路。螺桿式空壓機組主要有壓縮機、電動機、空氣濾清器、進氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤滑油冷卻器壓力開關(guān)、單向閥、儲氣罐、壓力表、自動排水器、安全閥等設(shè)備部件。另外在空壓機系統(tǒng)中大多配置冷干機和空氣干燥器。
五、廢氣工程
由于半導(dǎo)體工藝對操作室清潔度要求極高，通常使用風(fēng)機抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體。
廢氣來源組成
外延工序 SiH4、SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、AsH3、B2H6、PH3、HCl、H2；
清洗工序 H2SO4、H2O2、HNO3、HCl、HF、H3PO4、NH4F、NH4OH 等；
光刻工序 異丙醇、醋酸丁酯、甲苯、Cl2、BCl3、C2F6、C3F8、CF4、SF6、HF、HCl、NO、C3H8、HBr、H2S 等；
化學(xué)機械拋光 NH4OH、NH4Cl、NH3、KOH；
有機酸鹽化學(xué)氣相沉淀SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、SiF4、CF4、B2H6、PH3、NF3、HCl、HF、NH3；
擴散、離子注入BF3、AsH3、PH3、H2、SiH4、SiH2Cl2、BBr3、BCl3、B2H6；
金屬化工序SiH4、BCl3、AlCl3、TiCl4、WF6、TiF4、SiF4、AlF3、BF3、SF6等；
對酸性氣體、堿性氣體的處理一般都采用濕式洗滌塔技術(shù)。
對于有機廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理方法。因為半導(dǎo)體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大（通常大于11039 m3/小時）和濃度低（通常小于25ppmv）的特點，使用其它的處理技術(shù)難以達(dá)到令人滿意的處理效率。沸石濃縮轉(zhuǎn)輪后再吸附或焚燒。
六、電氣工程
空調(diào)動力電工程：統(tǒng)計總用電量約830KW，空調(diào)用電約330KW。
動力（鍍鋅線槽）沿墻體及天花敷設(shè)，再分至車間及設(shè)備電箱，安裝在樓板下。
主電纜采用YJV型號。
七、弱電系統(tǒng)工程
1、高清視頻監(jiān)控系統(tǒng)空調(diào)動力電工程：統(tǒng)計總用電量約830KW，空調(diào)用電約330KW。
2、動力（鍍鋅線槽）沿墻體及天花敷設(shè)，再分至車間及設(shè)備電箱，安裝在樓板下。
主電纜采用YJV型號。
八、智能平臺
潔凈系統(tǒng)中的風(fēng)量控制采用文丘里閥門，實時監(jiān)控流量及狀態(tài)，可在線診斷。并可以維持房間壓力、溫度、濕度的平穩(wěn)可靠。
中控室中把空調(diào)、特氣、純水、監(jiān)控、房間溫濕度等參數(shù)集成管理、顯示、儲存，并對數(shù)據(jù)進行打印輸出及溯源查找。并經(jīng)設(shè)備輸出在參觀通道播放，方便參觀。
九、純水工程
1、設(shè)備產(chǎn)水能力
2、RO系統(tǒng)：一級RO反滲透產(chǎn)水量≥8m3/h（水溫保證在25℃時）；二級RO反滲透產(chǎn)水量≥6m3/h（水溫保證在25℃時）
3、EDI系統(tǒng)：EDI產(chǎn)水量≥5m3/h（水溫在25℃時）
4、終端拋光混床產(chǎn)水能力為：≥5m³/H（水溫保證在25℃時）
5、設(shè)備產(chǎn)水水質(zhì)指標(biāo)
終端拋光混床產(chǎn)水水質(zhì)為：≥18.0MΩ.cm（水溫保證在25℃時，測點在拋光混床出口3米內(nèi)，95%時間）其它技術(shù)指標(biāo)參照我國的電子級水的技術(shù)指標(biāo)
由于設(shè)備用水的級別各不相同，可以在本設(shè)計流程中的某段引出合適的使用點即可。對于超純水必須采用UPVC材質(zhì)（因金屬管道會析出離子），特別對于圓晶的生產(chǎn)，超純水會對額定的離子限值嚴(yán)格，所以采用進口的UPVC純水管道對產(chǎn)品質(zhì)量有保證。
十、廢水處理工程
半導(dǎo)體制造及封裝測試的各個工藝步驟都有大量的廢水產(chǎn)生，主要以酸堿廢水、含氟廢水、有機廢水為主。
⑴酸堿廢水
對于酸堿廢水處理前的pH值一般在3-11范圍內(nèi)，時間間歇性強。在排放水體或進行生物處理或化學(xué)處理之前，必須進行中和，使廢水pH值達(dá)到6.5~8.5。但對于工業(yè)廢水中酸堿物質(zhì)濃度高達(dá)3%~5%的廢水，應(yīng)首先考慮其回收。
⑵含氟廢水
含氟廢水的治理技術(shù)主要為化學(xué)沉淀法，即投加化學(xué)藥品形成氟化物沉淀或氟化物被吸附于所形成的沉淀物中而共沉淀，然后分離固體沉淀物即可除去氟化物。
⑶有機廢水
依靠物理法、化學(xué)法很難處理有機廢水，通常采用生化法處理。
⑷金屬廢水
金屬廢水的處理主要用化學(xué)沉淀法，廢水中含有危害性很大的一些重金屬和某些類金屬（如砷）。
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