免費(fèi)服務(wù)熱線:
-
電子光學(xué)無(wú)塵車(chē)間克服空間限制 · 量身定制解決方案 秉承盡善盡美、精益求精的理念 不僅在項(xiàng)目上符合客戶的使用要求,更在運(yùn)維中 降低成本,提高使用效率上追求更加科學(xué)、完善查看詳情
-
生物醫(yī)藥潔凈車(chē)間專(zhuān)注新版GMP，科學(xué)合理規(guī)劃、嚴(yán)謹(jǐn)施工 完全依據(jù)國(guó)家及行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范，專(zhuān)業(yè)、高效 的承建品質(zhì)潔凈室系統(tǒng)工程查看詳情
-
食品日化凈化車(chē)間專(zhuān)業(yè)的系統(tǒng)規(guī)劃設(shè)計(jì)、精心的項(xiàng)目施工策劃 嚴(yán)謹(jǐn)?shù)馁|(zhì)量管理是我們提供高品質(zhì)工程服務(wù)的 基本要求查看詳情
-
解決方案項(xiàng)目設(shè)計(jì)到施工,秉承盡善盡美、精益求精的理念;不僅在項(xiàng)目上符合客戶的使用要求,更在運(yùn)維中降低成本,提高使用效率上追求更加科學(xué)、完善,為客戶帶來(lái)效益,為美麗的自然環(huán)境而降低能耗查看詳情
-
工程案例正源環(huán)境在電子制造、精密儀表、航空航天、生物制藥、印刷包裝、食品日化、光電光學(xué)、醫(yī)療衛(wèi)生、科研教學(xué)等高新產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域中設(shè)計(jì)承建了眾多經(jīng)典工程, 并獲得一致認(rèn)可與好評(píng)查看詳情
-
凈化設(shè)備強(qiáng)大的設(shè)計(jì)、研發(fā)能力，使我們善于為客戶定制非標(biāo)潔凈室凈化設(shè)備/產(chǎn)品,如：FFU、傳遞窗、風(fēng)淋室等查看詳情
-
關(guān)于正源正源環(huán)境以“工匠精神”作為企業(yè)立心之本,從而推動(dòng)行業(yè)“品質(zhì)革命”為使命,堅(jiān)持以打造人與環(huán)境和諧共生,可持續(xù)發(fā)展的優(yōu)良工程為目標(biāo)查看詳情
-
聯(lián)系正源高效的客戶服務(wù)體系是正源環(huán)境潔凈室工程及產(chǎn)品服務(wù)的延申,作為信譽(yù)卓著的潔凈室承建商,前期規(guī)劃及工程售后的服務(wù)均是我們關(guān)注的重點(diǎn)查看詳情
大功率半導(dǎo)體芯片制造無(wú)塵室設(shè)計(jì)
2024-04-24 15:27
隨著《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》 的出臺(tái)及國(guó)發(fā)4號(hào)文細(xì)則進(jìn)一步落實(shí)， 我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)步入了新的一輪加速成長(zhǎng)的新階段，國(guó)內(nèi)各知名企業(yè)紛紛響應(yīng)國(guó)家號(hào)召，加快推進(jìn)集成電路廠房建設(shè)及工藝流水線更新，以滿足市場(chǎng)需求及符合最新產(chǎn)品生產(chǎn)需求。
1 工藝流程及產(chǎn)品特殊性
半導(dǎo)體晶圓制造工藝流程主要包括光刻、清洗、離子注入、鍍膜等工序，晶粒雖小卻經(jīng)歷了數(shù)道工序，且很多層結(jié)構(gòu)都是納米級(jí)別，且該產(chǎn)品一般用作電氣原件，對(duì)于靜電、灰層都比較敏感。
2 空調(diào)配置要求
一般的機(jī)械加工在普通環(huán)境中就可以進(jìn)行，因?yàn)榧庸し直媛试跀?shù)十微米以上，遠(yuǎn)比日常環(huán)境的微塵顆粒大，但若是進(jìn)入半導(dǎo)體器件或微細(xì)加工的世界，空間單位都是以微米、納米計(jì)算，因此若是微塵顆粒沾附在制作半導(dǎo)體器件的晶圓上，便有可能影響到器件內(nèi)部精密導(dǎo)線布局，造成電性短路或斷路的嚴(yán)重后果，由于產(chǎn)品特殊性需要高的生產(chǎn)精密度，因此對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的指標(biāo)提出了新的要求。集成電路芯片廠房?jī)艋?jí)別一般為百級(jí)、千級(jí)，局部可能要求十級(jí)，封裝車(chē)間相對(duì)要求會(huì)放寬一些，但一般也要做到萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)。
方案設(shè)計(jì)上，應(yīng)根據(jù)各工序的工藝要求，分別采用不同等級(jí)的凈化空調(diào)，層流和亂流潔凈室以及運(yùn)行班次或使用時(shí)間不同的潔凈室等，其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)均宜分開(kāi)設(shè)置。在滿足生產(chǎn)要求的前提下，氣流組織宜采用局部工作區(qū)空氣凈化和全室空氣凈化相結(jié)合的形式，相對(duì)比較節(jié)能，若部分生產(chǎn)用房使用特氣較多或是存在泄漏事故風(fēng)險(xiǎn)，可根據(jù)規(guī)范要求考慮全新風(fēng)系統(tǒng)。
空調(diào)除了考慮凈化要求外，尚需考慮溫濕度的合理設(shè)置，溫度一方面要考慮人員的舒適度， 另一方面要考慮機(jī)器設(shè)備的運(yùn)行最適宜溫度，濕度一方面要考慮避免濕度過(guò)大導(dǎo)致產(chǎn)品潮濕， 影響產(chǎn)品性能，另一方面又要滿足防止?jié)穸冗^(guò)小產(chǎn)生靜電，常規(guī)的集成電路生產(chǎn)廠房會(huì)按照潔凈室溫度為20～26℃，濕度 40-65％，根據(jù)不同的工藝需求溫度和濕度按照不同的工藝空調(diào)進(jìn)行+-值設(shè)定設(shè)計(jì)指標(biāo)。
3 防微振要求
半導(dǎo)體器件不僅怕“塵”，同時(shí)也很畏“震”，“震”一下容易導(dǎo)致膜厚不一，影響電性能，因此在廠房設(shè)計(jì)的時(shí)候?qū)Σ糠止に囋O(shè)備設(shè)備基礎(chǔ)提出了防微振要求。
光刻機(jī)等部分設(shè)備操作精度要求高，周?chē)恼鹪磳?duì)設(shè)備的正常工作都會(huì)產(chǎn)生影響，因此對(duì)此類(lèi)設(shè)備的設(shè)備基礎(chǔ)一般要進(jìn)行相應(yīng)處理，常規(guī)做法是對(duì)光刻機(jī)設(shè)備底下做獨(dú)立基礎(chǔ)與整個(gè)廠房的地坪脫開(kāi)，防止廠房?jī)?nèi)余震影響設(shè)備精密度。
推薦資訊 / Recommended News
2021-09-15 00:00
2021-09-15 00:00
2021-09-15 00:00
2021-09-15 00:00
2021-09-15 00:00
2021-09-15 00:00
2019-05-16 00:00
2019-07-24 10:20
2025-07-14 10:00
2025-03-27 14:54
2024-12-18 14:02
2024-12-06 10:02
協(xié)助客戶發(fā)展，共創(chuàng)企業(yè)輝煌！
友情鏈接：
? CopyRigth 2019 zhyjgroup.cn Inc All Rights Reserved. 深圳市正源環(huán)境科技有限公司 版權(quán)所有
*本站部分網(wǎng)頁(yè)素材及相關(guān)資源來(lái)源互聯(lián)網(wǎng)，如有侵權(quán)請(qǐng)速告知，我們將會(huì)在24小時(shí)內(nèi)刪除*