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IC半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)車間接地及防靜電要求
2022-09-24 09:49
為在半導(dǎo)體Fab工廠設(shè)計中貫徹執(zhí)行國家現(xiàn)行法律、法規(guī)，滿足硅集成電路芯片生產(chǎn)要求，確保人身和財產(chǎn)安全，做到安全適用、技術(shù)先進、經(jīng)濟合理、環(huán)境友好。針對IC半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)車間接地及防靜電有以下要求：
一、IC半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)車間接地要求
1、生產(chǎn)設(shè)備的功能性接地應(yīng)小于1Ω，有特殊接地要求的設(shè)備，應(yīng)按設(shè)備要求的電阻值設(shè)計接地系統(tǒng)。
2、功能性接地、保護性接地、電磁兼容性接地、建筑防雷接地，宜采用共用接地系統(tǒng)，接地電阻值應(yīng)按其中最小值確定。
3、生產(chǎn)設(shè)備的功能性接地與其他接地分開設(shè)置時，應(yīng)采取防止雷電反擊措施。分開設(shè)置的接地系統(tǒng)接地極宜與共用接地系統(tǒng)接地極保持20m以上的間距。
二、IC半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)車間防靜電要求
1、硅集成電路芯片廠房生產(chǎn)區(qū)應(yīng)為一級防靜電工作區(qū)。
2、防靜電工作區(qū)的地面和墻面、柱面應(yīng)采用導(dǎo)靜電型材料。導(dǎo)靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對地電阻應(yīng)為2.5×104Ω～1×106Ω，摩擦起電電壓不應(yīng)大于100V，靜電半衰期不應(yīng)大于0.1s。
3、防靜電工作區(qū)內(nèi)不得選用短效型靜電材料及制品，并應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設(shè)置靜電消除器、防靜電安全工作臺。
4、防靜電環(huán)境的門窗選擇應(yīng)符合下列要求：
a) 應(yīng)選用靜電耗散材料制作門窗或采用靜電耗散型材料貼面；
b) 金屬門窗表面應(yīng)涂刷靜電耗散型涂層，并應(yīng)接地；
c) 室內(nèi)隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃時，其表面應(yīng)粘貼靜電耗散型透明薄膜或噴涂靜電耗散型涂層。
5、防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)口和風(fēng)管，應(yīng)選用導(dǎo)電材料制作，并應(yīng)接地。
6、 防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時，應(yīng)在其表面安裝緊密結(jié)合的金屬網(wǎng)并將其接地。當(dāng)使用導(dǎo)電性橡膠軟管時，應(yīng)在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的金屬導(dǎo)體，并應(yīng)用接地引線與其可靠接地。
7、生產(chǎn)廠房內(nèi)金屬物體包括潔凈室的墻面、門窗、吊頂?shù)慕饘俟羌軕?yīng)與接地系統(tǒng)做可靠連接；導(dǎo)靜電地面、防靜電活動地板、工作臺面、座椅等應(yīng)做防靜電接地。
8、生產(chǎn)廠房防靜電接地設(shè)計及其他要求，應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《電子工程防靜電設(shè)計規(guī)范》GB 50611的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。
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