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晶硅體太陽能生產(chǎn)車間暖通空調(diào)及排風設(shè)計
2022-09-23 08:30
一、空調(diào)系統(tǒng)及空氣處理方式
生產(chǎn)車間的空調(diào)系統(tǒng)是產(chǎn)品質(zhì)量的重要保障,也是廠房的耗能大項。合理的選擇空調(diào)處理方式既能滿足生產(chǎn)的實際需求,又能有效的節(jié)省能源,為企業(yè)創(chuàng)造利潤。
空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理方式一般視廠房的具體位置和總圖布局情況而言,可以采取組合式空氣處理機組集中處理,也可以采用干盤管進行分散處理。
潔凈系統(tǒng)用的新風空調(diào)機組(MAU)和循環(huán)空調(diào)機組(AHU)的冷媒采用6-11℃的冷凍水,加熱采用0.2MPa蒸汽,加濕采用0.1MPa的潔凈蒸汽加濕,潔凈蒸汽由純水經(jīng)潔凈蒸汽發(fā)生器產(chǎn)生。
1、CP室凈化級別為7級,換氣次數(shù)取為30次/小時,CP室工藝設(shè)備用酸量較多,采用全新風空調(diào)機組(MAU-3)+高效過濾器送風口(HEP-ABOX)的空調(diào)方式。其氣流流程為:新風入口-粗效過濾器-中效過濾器-預加熱器-表冷器-加熱器-潔凈蒸汽加濕-送風機-送風管-高效過濾器送風-潔凈區(qū)。
2、ML室凈化級別為7級,換氣次數(shù)取為30次/小時,采用新風機組(MAU)+循環(huán)機組(AHU)+高效過濾器送風口(HEP-ABOX)的空調(diào)方式。新風接自其它系統(tǒng)共用MAU-1、2新風組。
3、CP/CVD室、LP/CVD室、潔凈包裝間凈化級別為6 級,換氣次數(shù)取為50次/小時,采用新風機組(MAU)+循環(huán)機組(AHU)+高效過濾器送風口(HEP-ABOX)的空調(diào)方式。新風接自其它系統(tǒng)共用的MAU-1、2新風組。
4、7級、6 級的潔凈室采用的氣流形式為頂部高效過濾器送風口送風,房間側(cè)下百葉風口回風。其氣流流程為:新回風混合!中效過濾器-表冷器-送風機-送風管-高效過濾器送風口-潔凈區(qū)-房間側(cè)下百葉回風口-回風管-新回風混合。
5、洗凈室、品質(zhì)檢查室凈化級別為7 級,采用新風機組(MAU)+循環(huán)機組(AHU)+風機過濾器單元(FFU))的空調(diào)方式。采用的氣流形式為頂部FFU送風,房間側(cè)下百葉風口回風。FFU滿布率為33%,洗凈室、品質(zhì)檢查室對NH4+、SQx濃度有要求,需在循環(huán)機組(AHU)內(nèi)增設(shè)化學過濾器。5級凈化間的氣流流程為:新回風混合-化學過濾器(NH4+)-化學過濾器(SQx)-中效過濾器-表冷器-送風機-送風管-送風靜壓箱-風機過濾器單元(FFU)-潔凈區(qū)-房間側(cè)下百葉回風口-回風管-新回風混合。新風接自其它系統(tǒng)共用的MAU-1、2新風組。
6、除CP室外的潔凈室所需新風采用2臺新風機組(MAU-1、2)集中處理,新風集中處理后送至各循環(huán)機組(AHU)。其氣流流程為:新風入口-粗效過濾器-中效過濾器-預加熱器-表冷器-加熱器-潔凈蒸汽加濕-送風機-送風管-各循環(huán)空調(diào)機組(AHU)。
7、CP室、ML室、洗凈室用酸量相對較多,CP室、ML室內(nèi)的高效過濾器送風口的擴散板需采用不銹鋼板制作,洗凈室內(nèi)的FFU的網(wǎng)板需采用不銹鋼板制作。
二、 Cure Furnaces(燒結(jié)爐)的排風
Cure Furnaces(燒結(jié)爐)的工作溫度很高(400℃左右)由于對潔凈度要求較高,需要設(shè)計獨立的排風系統(tǒng),而且其風管的材質(zhì)支管(即和設(shè)備相連接部分建議采用sus304)外加保溫層、主管部分采用鍍鋅鋼板(這樣既可以滿足生產(chǎn)要求又可以節(jié)省投資)。熱風直排是最節(jié)省初期投資的方法,也最簡便易行。
如果從長遠來看,此設(shè)備的散熱量較大,條件允許的情況下,建議采用熱回收機組,冬季用于預熱新風,可以節(jié)省運行費用;缺點是初期投資較高。
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